Статья

Название статьи О ВЛИЯНИИ ЭЛЕКТРОННО-ЛУЧЕВОЙ ОБРАБОТКИ НА ПОВЕРХНОСТЬ ДИЭЛЕКТРИЧЕСКИХ ПЛЕНОК НА ОСНОВЕ Al2O3
Автор С.П. Авдеев, Е.В. Луговой, П.В. Серба
Рубрика РАЗДЕЛ II. НАНОМАТЕРИАЛЫ
Месяц, год 04, 2011
Индекс УДК 621.382.81
DOI
Аннотация Рассмотрены вопросы синтеза тонких монолитных пленок золь-гель технологией с рекристаллизацией электронным лучом. Пленкообразующей основой выбран изопропилат алюминия, который позволяет получить высокочистый ксерогель. Это неоднородное состояние пленки является исходным материалом для рекристаллизации электронным лучом в монолитную пленку Al2O3. Показано, что при электронно-лучевой обработке при низкой предварительной температуре подогрева образца, могут формироваться островковые монолитные пленки Al2O3. Приведены результаты экспериментальных исследований и предложен механизм формирования полученных пленок.

Скачать в PDF

Ключевые слова Золь-гель технология; Al2O3; электронно-лучевая обработка.
Библиографический список 1. Ruppi S., Larsson A. Chemical vapour deposition of k-Al2O3 // Thin Solid Films. – 2001. – № 388. – P. 50-61.
2. Siddhartha K. Pradhan, Philip J. Reucroft, Yeonkyu Ko Crystallinity of Al2O3 films deposited by metalorganic chemical vapor deposition // Surface and Coatings Technology. – 2004. – № 176. – P. 382-384.
3. Nobuyuki Kawakami, Yoshihiro Yokota, Takeshi Tachibana, Kazushi Hayashi, Koji Kobashi Atomic layer deposition of Al2O3 thin films on diamond // Diamond & Related Materials. – 2005. – № 14. – P. 2015-2018.
4. Yadong Zhang, Jacob A. Bertrand, Ronggui Yang, Steven M. George , Y.C. Lee. Electroplating to visualize defects in Al2O3 thin films grown using atomic layer deposition // Thin Solid Films. – 2009. – № 517. – P. 3269-3272.
5. Gottmann J., Kreutz E.W. Pulse laser deposition of alumina and zirconia thin films on polymers and glass as optical and protective coating // Surface and Coating Technology. – 1999. – № 116-119. – P. 1189-1194.
6. Chengbin Jing, Xiujian Zhao, Yongheng Zhang Sol – gel fabrication of compact, crack-free alumina film // Materials Research Bulletin. – 2007. – № 42. – P. 600-608.
7. Masalski J., Gluszek J., Zabrzeski J., Nitsch K., Gluszek P. Improvement in corrosion resistance of the 316l stainless steel by means of Al2O3 coatings deposited by the sol-gel method // Thin Solid Films. – 1999. – № 349. – P. 186-190.
8. Авдеев С.П., Милешко Л.П., Музыков П.Г., Чередниченко Д.И. Перспективы применения электронно-лучевой обработки для модификации золь-гельных пленок легированного диоксида кремния // Физика и химия обработки материалов. – 1998. – № 2. – C. 77-83.
9. Кравченко А.А., Лохов Ю.Д., Чередниченко Д.И. О формировании предельно гладких поверхностей стекол // Физика и Химия стекла. – 1990. – № 6. – С. 923-927.

Comments are closed.