Article

Article title RESEARCH OF FORMATION PROCESS AND PROPERTIESOF NANO-SIZED SiO2SnOxCuOy MATERIAL FOR GAS SENSOR APPLICATION
Authors V.V. Petrov, T.N. Nazarova, N.F. Kopy’lova, A.A. Voronoj
Section SECTION II. NANOMATERIALS
Month, Year 04, 2011 @en
Index UDC 539.217.5:546.28
DOI
Abstract In the work formation of SiO2SnOxCuOy thin sol-gel films was studied. Investigation of their physical and chemical and electrophysical properties were carried out. It was shown, that stabilization of processes in solutions on the basis of TEOS and tin chloride (IV), occurs in 12 days after mixing of all precursor components. It was established that with increase of Cu(NO3)2 concentration in a solution, the surface root-mean-square roughness (Sq) of the films formed from them also increases, thus for the samples formed from solutions with high ratio of TEOS/SnCl4. Gas sensitive characteristics also were studied. It is defined that the sensor on the base of SiO2SnOxCuOy films shows the selective sensitivity to NO2 in a range of working temperatures 100-200 0С.

Download PDF

Keywords Sol-gel method; gas-sensitive material; nitrogen dioxide.
References 1. Петров В.В., Королев А.Н. Наноразмерные оксидные материалы для сенсоров газов. Таганрог: Изд-во ТТИ ЮФУ, 2008. – 153 с.
2. Шилова О.А. Силикатные наноразмерные пленки, получаемые золь-гель методом, для планарной технологии изготовления полупроводниковых газовых сенсоров // Физика и химия стекла. – 2005. – № 2 (31). – С. 270-293.
3. Зиновьев К.В., Вихлянцев О. Ф., Грибов О.Г. Получение окисных пленок из растворов, использование их в электронной технике. – М.: ЦНИИ. Электроника, 1974. – 62 с.
4. Петров В.В., Назарова Т.Н., Копылова Н.Ф., Заблуда О.В., Кисилев И., Брунс М. Исследование физико-химических и электрофизических свойств, газочувствительных характеристик нанокомпозитных пленок состава SiO2-SnOx-CuOy // Нано- и микросистемная техника. – 2010. – № 8. – С. 15-21.
5. Петров В.В. Автоматизированный стенд для калибровки сенсоров газа // В тез. докл. 1 Межд. науч.-техн. конф. «Сеносрная элекетроника и микросистемные технологии» Украина, Одесса, 1-5 июня 2004 г. Изд-во Астропринт. – С. 288-289.

Comments are closed.