Статья

Название статьи ЭЛЕКТРОФИЗИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА ПЛЁНОК ZnO И VOx, ПОЛУЧЕННЫХ МЕТОДОМ ИМПУЛЬСНОГО ЛАЗЕРНОГО ОСАЖДЕНИЯ
Автор Е.Г. Замбург, А.В. Михайличенко, В.В. Пташник
Рубрика РАЗДЕЛ II. НАНОМАТЕРИАЛЫ
Месяц, год 04, 2011
Индекс УДК 621.373.8.002
DOI
Аннотация Исследовано нанесение пленок оксидов ванадия и цинка в модуле импульсного лазерного осаждения (ИЛО) многофункционального сверхвысоковакуумного комплекса НАНОФАБ НТК-9. Изучалось влияние температуры подложки на электрофизические параметры пленок оксидов ванадия и цинка. Исследования морфологии поверхности пленок ZnO и VOx в себя: исследование шероховатости поверхности, объема зерен, перепада высот. Для пленок ZnO получены температурные зависимости концентрации и подвижности носителей заряда, удельного сопротивления. Для пленок VOx получены температурные зависимости удельного сопротивления и ТКС. Также показана возможность получения пленок VOx с постоянным объемом зерен в широком диапазоне температур. Управляя температурой подложки возможно формировать пленки VOx с заданными удельным сопротивлением и ТКС.

Скачать в PDF

Ключевые слова Нанотехнологии; импульсное лазерное осаждение; оксид цинка; оксид ванадия.
Библиографический список 1. Коноплев Б.Г., Агеев О.А. Элионные зондовые нанотехнологии для микро и наносистемной техники // Известия ЮФУ. Технические науки. – 2008. – № 12 (89). – C. 165-175.
2. Акопьян В. Сверхпроводимость: методы получения высокотемпературных сверхпроводников / Паринов И., Chang S. // Наука техника. – 2010. – № 2 (200).
3. Лотин А.А., Новодворский О.А., Хайдуков Е.В., Рочева В.В., Храмова О.Д., Панченко В.Я., Венцель К., Трумпайска Н., Щербачев К.Д. Эпитаксиальный рост и свойства пленок MgxZn1−xO, получаемых методом лазерно-плазменного осаждения // Физика и техника полупроводников. – 2010. – Вып. 2. – Т. 44.– С. 260.
4. Рогальский А. ИК детекторы: Пер. с английского / Под ред. А.В. Войцеховского. – Новосибирск: Наука, 2003.
5. Тутов Е.А., Тума Ф.А., Кукуев В.И. Механизмы токопереноса в структуре Al/ZnO/Si. Конденсированные среды и межфазные границы. – 2006. – № 4 (8). – С. 334.
6. Агеев О.А., Замбург Е.Г. Выращивание наноструктурированных пленок оксида цинка в модуле импульсного лазерного осаждения нанотехнологического комплекса НАНОФАБ НТК-9 (тезисы) // Сборник тезисов докладов Всероссийской молодежной школысеминара «Нанотехнологии и инновации - 2009». – C. 20.
7. Агеев О.А., Замбург Е.Г., Михайличенко А.В., Пташник В.В. Исследование влияния режимов импульсного лазерного осаждения на электрофизические свойства пленок ZnO (тезисы) // Сборник трудов международной научно-технической конференции и молодежной школы-семинара «Нанотехнологии - 2010». – Ч. 2. – С. 31.
8. Киффер Р., Браун Х. Ванадий, ниобий, тантал: Пер. с нем. – М.: Металлургия, 1968. – 312 с.
9. Зеров В.Ю. Пленки VOx с улучшенными болометрическими характеристиками для ИК-матриц / В.Ю. Зеров, Ю.В. Куликов, В.Г. Маляров и др. // Журнал технической физики. – 2001. – Вып. 9. – Т. 27. – С. 57-63.

Comments are closed.