Article

Article title ELECTROPHYSICAL PROPERTIES OF ZnO AND VOx FILMS PRODUCED BY PULSED LASER DEPOSITION
Authors E.G. Zamburg, A.V. Mikhaylichenko, V.V. Ptashnik
Section SECTION II. NANOMATERIALS
Month, Year 04, 2011 @en
Index UDC 621.373.8.002
DOI
Abstract Deposition of Vanadium and Zinc oxides films at Pulse Laser Deposition (PLD) module on UHV multipurpose nanotechnological complex of NANOFAB NTF-9 was researched. The fluency of substrate temperature on electrophysical properties of Vanadium and Zinc oxides was researched. ZnO and VOx surface morphology researching consists of: surface roughness researching, grains volume, Zmax-Zmin. Temperature dependence of concentration, mobility and resistivity was given for ZnO thin films. Temperature dependence of resistivity and temperature coefficient of resistance was given for VOx thin films. Also shown the possibility of making VOx thin films with constant grain volume in the large temperature region. It is possibly to produce VOx thin film with given resistivity and temperature coefficient of resistance values by changing substrate temperature.

Download PDF

Keywords Nanotechnologies; pulse laser deposition; zinc oxide; vanadium oxide.
References 1. Коноплев Б.Г., Агеев О.А. Элионные зондовые нанотехнологии для микро и наносистемной техники // Известия ЮФУ. Технические науки. – 2008. – № 12 (89). – C. 165-175.
2. Акопьян В. Сверхпроводимость: методы получения высокотемпературных сверхпроводников / Паринов И., Chang S. // Наука техника. – 2010. – № 2 (200).
3. Лотин А.А., Новодворский О.А., Хайдуков Е.В., Рочева В.В., Храмова О.Д., Панченко В.Я., Венцель К., Трумпайска Н., Щербачев К.Д. Эпитаксиальный рост и свойства пленок MgxZn1−xO, получаемых методом лазерно-плазменного осаждения // Физика и техника полупроводников. – 2010. – Вып. 2. – Т. 44.– С. 260.
4. Рогальский А. ИК детекторы: Пер. с английского / Под ред. А.В. Войцеховского. – Новосибирск: Наука, 2003.
5. Тутов Е.А., Тума Ф.А., Кукуев В.И. Механизмы токопереноса в структуре Al/ZnO/Si. Конденсированные среды и межфазные границы. – 2006. – № 4 (8). – С. 334.
6. Агеев О.А., Замбург Е.Г. Выращивание наноструктурированных пленок оксида цинка в модуле импульсного лазерного осаждения нанотехнологического комплекса НАНОФАБ НТК-9 (тезисы) // Сборник тезисов докладов Всероссийской молодежной школысеминара «Нанотехнологии и инновации - 2009». – C. 20.
7. Агеев О.А., Замбург Е.Г., Михайличенко А.В., Пташник В.В. Исследование влияния режимов импульсного лазерного осаждения на электрофизические свойства пленок ZnO (тезисы) // Сборник трудов международной научно-технической конференции и молодежной школы-семинара «Нанотехнологии - 2010». – Ч. 2. – С. 31.
8. Киффер Р., Браун Х. Ванадий, ниобий, тантал: Пер. с нем. – М.: Металлургия, 1968. – 312 с.
9. Зеров В.Ю. Пленки VOx с улучшенными болометрическими характеристиками для ИК-матриц / В.Ю. Зеров, Ю.В. Куликов, В.Г. Маляров и др. // Журнал технической физики. – 2001. – Вып. 9. – Т. 27. – С. 57-63.

Comments are closed.