Article

Article title PHASE FORMATION RESEARCHING WHILE PULSED LASER DEPOSITION OF VANADIUM OXIDE
Authors V.N. Dzhuplin, A.V. Mixajlichenko, D.I. Cherednichenko
Section SECTION II. NANOMATERIALS
Month, Year 04, 2011 @en
Index UDC 621.373.8.002
DOI
Abstract Vanadium oxide thin film coating by pulsed laser deposition (PLD) was researched. Comparative analysis of surface morphology and resistivity vanadium oxide thin films, produced by PLD and oxidation of vanadium, was made. Аssign, that target material V2O5 dissociate to the components close to ablation temperature. While lowing temperature backward process recovering of vanadium oxide from the components was run. Resistivity measurement and X-ray photoelectron analysis show that the vacuum deposit film volume consists of metallic vanadium with paucity of oxide at the surface. Vanadium oxide films can be produced by PLD of target in oxygen.

Download PDF

Keywords Vanadium oxide; laser ablation.
References 1. Рогальский А. ИК-детекторы / Пер. с английского. Под ред. А.В. Войцеховского. – Новосибирск: Наука, 2003.
2. Тарасов В.В., Якушенко Ю.Г. Инфракрасные системы «смотрящего» типа. – М.: Логос, 2004. – 443 с.
3. Golan G., Axelevitch A. Investigation of phase transition mechanism in vanadium oxide thin film // Journal of Optoelectronics and Advanced Materials. – 2004. – Vol. 6, № 1. – Р. 189-195.
4. Бугаев А.А., Захарченя Б.П. Фазовый переход металл-полупроводник и его применение. – М.: Наука, 1979.
5. Зеров В. Пленки VOx с улучшенными болометрическими характеристиками для ИК- матриц // Письма в ЖТФ. – 2001. – Т. 27, № 9. – С. 57-63.
6. Овсюк В.Н., Шашкин В.В. Неохлаждаемые микроболометрические матричные приемники ИК-излучения на основе золь-гель VOx // Прикладная физика. – 2005. – № 6. – С. 114-118.
7. Chen C., Zhang J. Linear uncooled microbolometer array based on VOx thin films // J. Infrared Physics & technology. – 2001. – № 42. – Р. 87-90.
8. Акопьян В., Паринов И., Chang S. Сверхпроводимость: методы получения высокотемпературных сверхпроводников // Наука техника. – 2010. – № 2 (200).
9. Eason R. Pulsed laser deposition of thin films: applications-led growth of functional materials - Published by J. Wiley & Sons, Inc. – 2007. – 682 p.
10. Коноплёв Б.Г., Агеев О.А. Элионные и зондовые нанотехнологии для микро- и наносистемной техники // Известия ЮФУ. Технические науки. – 2008. – № 12 (89). – С. 165-175.
11. Анисимов С. Действие большой мощности на металлы. – М.: Наука, 1970.
12. Chen K. R., Leboeuf J. N. Mechanisms affecting kinetic energies of laser-ablated materials // J. Vac. Sci. Technol. A, Vol. 14, No. 3, May/Jun 1996.

Comments are closed.