Article

Article title APPLICATION OF FOCUSED ION BEAMS FOR ATOMIC FORCE MICROSCOPY PROBES MODIFICATION
Authors O.A. Ageev, V.A. Smirnov, A.S. Kolomiytsev, A.L. Gromov
Section SECTION III. NANOSYSTEMIC TECHNOLOGY
Month, Year 04, 2011 @en
Index UDC 621.38-022.532
DOI
Abstract Results of atomic force microscopy (AFM) probes-cantilevers modification by focused ion beams (FIB) experimental researches are presented. With use of FIB treatment are received cantilevers with tip radius than 10 nm and aspect ratio 1:50. With the help it is ionic-stimulation sedimentation by FIB are received cantilevers with a tungsten tip in length 5 microns and radius 50 nm. It is shown that application modified by FIB probes allows increasing resolution and reliability of measurements of test objects by AFM. The received results can be used at research of micro- and nanoelectronics, micro- and nanosystems structures.

Download PDF

Keywords Atomic force microscopy; cantilever; focused ion beam; ion beam treatment; ion-induced deposition.
References 1. Мальцев П.П. Нано- и микросистемная техника // От исследований к разработкам. – М.: Техносфера, 2005. – 592 с.
2. Неволин В.К. Зондовые нанотехнологии в электронике. – М.: Техносфера, 2006. – 160 с.
3. Агеев О.А., Коноплев Б.Г., Смирнов В.А. и др. Фотоактивация процессов формирования наноструктур методом локального анодного окисления пленки титана // Известия высших учебных заведений. Электроника. – 2010. – № 2 (82). – С. 23-30.
4. Bhushan B. Springer Handbook of Nanotechnology // 3rd edition. – 2010. –1964 p.
5. Лучинин В.В. Нанотехнология: физика, процессы, диагностика / Под ред. В.В. Лучинина, Ю.М. Таирова. – М.: Физматлит, 2006. –552 с.
6. Коноплев Б.Г., Агеев О.А. Элионные и зондовые нанотехнологии для микро- и наносистемной техники // Известия ЮФУ. Технические науки. – 2008. – № 12 (89). – С. 165-175.
7. Официальный сайт ЗАО «Нанотехнология - МДТ» http://www.ntmdt.ru.

Comments are closed.