Статья

Название статьи КЛАСТЕРНОЕ ОБОРУДОВАНИЕ ДЛЯ СОЗДАНИЯ И ИССЛЕДОВАНИЯ ЭЛЕМЕНТОВ НАНОЭЛЕКТРОНИКИ
Автор В.А. Быков
Рубрика РАЗДЕЛ V. ОБОРУДОВАНИЕ И ПРИБОРЫ ДЛЯ НАНОТЕХНОЛОГИЙ
Месяц, год 04, 2011
Индекс УДК 621.3.049
DOI
Аннотация Группой компаний НТ-МДТ на протяжении многих лет рпзрабатывалась концепция создания многофункциональных кластерных научно-технологических комплексов, интегрирующих широкий спектр самого современного научного и технологического оборудования от ведущих мировых производителей. В настоящее время данная концепция реализована в модульной технологической платформе НАНОФАБ, созданной для формирования нанотехнологических комплексов с кластерной компоновкой. В данной работе рассмотрены исторические аспекты создания кластерного технологического оборудования в СССР и РФ. Проанализированы преимущества кластерной компоновки технологических модулей перед линейной схемой, обозначены перспективы развития экспериментально-технологического оборудования для создания микро- и наносистемной техники.

Скачать в PDF

Ключевые слова Кластерное оборудование; сверхвысоковакуумный; нанотехнологический комплекс.
Библиографический список

Comments are closed.