Article

Article title INFLUENCE OF SUBSTRATE TEMPERATURE AT PULSE LASERDEPOSITION ON MORPHOLOGY OF ZnO FILMS
Authors E.G. Zamburg, V.V. Ptashnik
Section SECTION VI. BRIEF MESSAGES
Month, Year 04, 2011 @en
Index UDC 621.373.8.002
DOI
Abstract The work purpose is studying of influence of substrate temperature on the grains average area and volume of zinc oxide films, produced by a method of pulse laser deposition on multipurpose nanotecnologycal UHV complex of NANOFAB NTF-9 for formation nanocrystal zinc oxide films with the controllable size of grain necessary for working out of a design and creation technology of a nanoelectronics devices.

Download PDF

Keywords Nanotechnologies; pulse laser deposition; zinc oxide.
References 1. Замбург Е.Г., Агеев О.А. Выращивание наноструктурированных пленок оксида цинка в модуле импульсного лазерного осаждения нанотехнологического комплекса НАНОФАБ НТК-9 // Сборник тезисов докладов Всероссийской молодежной школы-семинара «Нанотехнологии и инновации - 2009». – С. 20.
2. Ткачев А.Г., Золотухин И.В. Аппаратура и методы синтеза твердотельных наноструктур: монография. – М.: Изд-во Машиностроение-1, 2007. – С. 55.

Comments are closed.