Article

Article title NANOSCALE STRUCTURES’ PRODUCTION BASED ON MODULAR NANOTECHNOLOGYCAL PLATFORM NANOFAB
Authors О.А. Ageev, А.S. Kolomiytsev, А.V. Mikhaylichenko, V.A.Smirnov, V.V. Ptashnik, M.S. Solodovnik, А.А. Fedotov, E.G. Zamburg, V.S. Klimin, O.I. Ilin, A.L. Gromov, A.V. Rukomoykin
Section SECTION III. ELECTRONICS, RADIO ELECTRONICS, NANO-TECHNOLOGIES
Month, Year 01, 2011 @en
Index UDC 001.89: 539.2 (621.382.132)
DOI
Abstract The idea is to present the results of production methods of nanoelectronics’ materials and structures and nanosystems’ technique based on the cluster type automatic platform NANOFAB NTK-9. Experimental research of micro- and nanofluidics systems using focused ion beam milling. Milling of microlenses structures. Vanadium and Zinc oxide thin film deposition and their properties researching. Growing aligned arrays of hybrid carbon nanostructures.

Download PDF

Keywords Nanotechnology; focused ion beams; atomic forces microscopy; pulsed laser deposition; carbon nanotubes.
References 1. Мальцев П.П. Нано- и микросистемная техника. От исследований к разработкам // Сборник статей. 2005. – М.: Техносфера, 2005. – 592 с.
2. Чаплыгин Ю.А. Нанотехнологии в электронике. – М.: Техносфера, 2005. – 448 с.
3. Лучинин В.В. Нанотехнологии: физика, процессы, диагностика, приборы. – М: Физматлит, 2006. – 552 с.
4. Агеев О.А., Федотов А.А., Климин В.С. Получение нанокомпозитных полимерных материалов модифицированных углеродными наноструктурами на основе НАНОФАБ НТК-9 // Известия ЮФУ. Технические науки. – 2009. – № 1 (90). – С. 135-142.

Comments are closed.