Статья

Название статьи МОДЕЛИРОВАНИЕ И КОНСТРУИРОВАНИЕ КРЕМНИЕВЫХ ЧУВСТВИТЕЛЬНЫХ ЭЛЕМЕНТОВ ЕМКОСТНЫХ ДАТЧИКОВ ДАВЛЕНИЯ
Автор П.Г. Михайлов, В.И. Лапшин, Д.А. Сергеев
Рубрика РАЗДЕЛ II. МАТЕМАТИЧЕСКИЕ МОДЕЛИ И МЕТОДЫ
Месяц, год 05, 2013
Индекс УДК 681.5.017; 681.5.03.23 681.5.017; 681.5.03.23 681.5.017; 681.5.03.23 681.5.017; 681.5.03.23 681.5.017; 681.5.03.23 681.5.017; 681.5.03.23 681.5.017; 681.5.03.23 681.5.017; 681.5.03.23 681.5.017; 681.5.03.23 681.5.017; 681.5.03.23
DOI 681.5.017; 681.5.03.23 681.5.017; 681.5.03.23 681.5.017; 681.5.03.23
Аннотация Статья посвящена вопросам моделирования и конструирования кремниевых чувствительных элементов (ЧЭ) емкостных датчиков давления. Предложены модели и представлены конструкции ряда емкостных чувствительных элементов, выполненных из монокристаллического кремния (МК). Изготовление емкостных ЧЭ на основе МК, который одновременно является и конструкционным и функциональным материалом, что позволяет изготавливать их с применением групповых технологий микроэлектроники. А это, в свою очередь, позволяет резко снизить цену и уменьшить габариты и вес ЧЭ и самих датчиков. Приведены расчетные зависимости конструктивных параметров, которые напрямую влияют на метрологию емкостных датчиков.

Скачать в PDF

Ключевые слова Монокристаллический кремний; микроэлектронные датчики; емкостной чувствительный элемент; электроды; расчетная модель; напряжение; мембрана; рабочая емкость; микромеханический емкостной датчик; диапазона измерения.
Библиографический список 1. Михайлов П.Г., Смирнов И.Ю., Сергеев Д.А. Чувствительные элементы и измерительные модули датчиков. Конструкции и технологии // Современные информационные технологии: Труды МНТК. Вып. 13. – Пенза: ПГТА, 2011. – С. 22-25.
2. Михайлов П.Г. Микроэлектронные датчики, особенности конструкций и характеристик // Приборы и системы. Управление. Контроль. Диагностика. – 2004. – № 6. – С. 38-41.
3. Андреева Л.Е. Упругие элементы приборов. – 2-е изд. доп. – М.: Машиностроение, 1981. – 392 c.

Comments are closed.