Article

Article title INTEGRATED MICROMECHANICAL TUNNELING ACCELEROMETER BASED ON DRIVEN SELF-ASSEMBLY OF STRAINED GAAS/INAS LAYERS
Authors E.A. Ryndin, N.K. Pristupchik
Section SECTION III. ELECTRONICS, INSTRUMENT MAKING
Month, Year 01, 2009 @en
Index UDC 621.3.049.77.001.2
DOI
Abstract Principle of operation and design of multi -axis micromechanical tunneling accelerometer based on driven self-assembly of strained GaAs/InAs layers is described. Simplified driven self-assembly and motion models are developed.

Download PDF

Keywords Design; microelectromechanical systems; sensor; accelerometer.
References 1. Бабаевский П.Г., Резниченко Г.М., Жуков А.А., Жукова С.А., Гринькин Е.А. Электромеханические преобразователи сенсорных микро- и наносистем: физические основы и масштабные эффекты. Часть 1. Чувствительные механические элементы и
актюаторы // Нано- и микросистемная техника. – 2008. – №11. – С. 32-44.
2. Распопов В.Я. Микромеханические приборы. – М.: Машиностроение. – 2007. – 400 с.
3. Коноплев Б. Г., Приступчик Н. К., Рындин Е. А. Автоэмиссионный акселерометр с тремя осями чувствительности // Нано- и микросистемная техника. – 2007. – №3. – С. 36–39.
4. Нанотехнологии в полупроводниковой электронике / Отв. ред. А. Л. Асеев. – Новосибирск: Издательство СО РАН, 2004. – 368 с.
5. Зозуля В.В., Мартыненко А.В., Лукин А.Н. Механика материалов. - Харьков: Изд-во Национ. ун-та внутр. дел, 2001. – 404 с.

Comments are closed.