Article

Article title TECHNOLOGY OF PREPARATION OF GAZSENSENSITIVE FILMS INFLUENCE ON GAZ SENSORS PARAMETERS
Authors M.S. Aleksandrova, N.F. Kopilova, V.V. Petrov
Section SECTION V. NATURAL SCIENCES
Month, Year 01, 2009 @en
Index UDC 539.217.5:546.28
DOI
Abstract Electrophysical properties and gassensitive parameters of SiO2(SnOxCuOy) films were investigated, which two kinds sol-gel technology were prepared. At first technology nanosize СuO introduce into sol-gel solvation and at second technology - Cu(NO3)2. Films were prepared by second technology have more better gassensitive parameters.

Download PDF

Keywords Gassensetive material; gas sensor; sol-gel technology.
References 1. Henrich V.E., Cox P.A. The surface science of metal oxides. Cambridge: University Press. – 1993. – 460 p.
2. Самсонов Г.В., Борисова А.Л., Жидкова Т.Г. и др. Физико-химические свойства окислов. Справочник. – М.: Металлургия. 1978. – 472 с.
3. Копылова Н.Ф., Петров В.В., Тарантеева Н.В., Александрова М.С. Исследование электрофизических свойств наноразмерных пленок SiO2(SnOxCuO), чувствительным к к оксидам азота // Материалы VII Межд. науч. конф. «Химия твердого тела и
современные микро- и нанотехнологии», (17-22 сентября 2007) - Кисловодск: СевКавГТУ, 2007. – С. 261-263.
4. Петров В.В. Автоматизированный стенд для калибровки сенсоров газов: тезисы докл. 1 Межд. науч.-техн. конф. «Сеносрная элекетроника и микросистемные технологии» (1-5 июня 2004г) - Украина, Одесса: «Астропринт», 2004. – С. 288-292.

Comments are closed.