Статья

Название статьи ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ АСПЕКТЫ И КОНСТРУКТИВНЫЕ ОСОБЕННОСТИ ГИБРИДНЫХ СЕНСОРНЫХ СИСТЕМ
Автор В.В. Поляков
Рубрика РАЗДЕЛ I. НАНОЭЛЕКТРОНИКА
Месяц, год 09, 2014
Индекс УДК 621.38-022.532
DOI
Аннотация Рассматриваются технологические аспекты и конструктивные особенности гибридных сенсорных систем. Обсуждаются особенности и принципы построения элементов гибридных сенсорных систем, приведена их систематизация по конструктивным особенностям и технологии формирования элементов. Предложена классификация гибридных сенсорных систем по конструктивно-технологическим особенностям. Рассмотрена возможность использования различных материалов и технологий при формировании элементов гибридных систем с учетом биосовместимости. Отмечается, что при проектировании и разработке сенсорной системы необходимо учитывать размерный фактор, т.е. размер исследуемых объектов. Приводятся основные технологические процессы формирования элементов гибридных систем. Дана классификация процессов травления. Описаны основные принципы, лежащие в основе конструкции устройств сенсорных систем: принцип многоуровневости; принцип многоканальности (параллельности); принцип конвергенции; принцип дивергенции и принцип обратной связи. Сформулированы основные задачи и направления исследований в области создания гибридных сенсорных систем.

Скачать в PDF

Ключевые слова Гибридная сенсорная система; технология; микросистема; нанотехнология; биосенсор; классификация.
Библиографический список 1. Polyakov V.V. Development and study of silicon dioxide nanostructured films forming on semiconductor structures surface // In book Advanced nano- and piezoelectric materials and their applications, editorIvan A. Parinov. – Nova Science Publishers, 2014. – P. 19-60.
2. Лысенко И.Е. Метод проектирования двухосевых микромеханических сенсоров угловых скоростей и линейных ускорений RR-типа // Известия ЮФУ. Технические науки. – 2011. – № 4 (117). – С. 234-236.
3. Лысенко И.Е. Функционально интегрированные микро- и наномеханические сенсоры угловых скоростей и линейных ускорений. – Таганрог: Изд-во ЮФУ, 2013. – 167 с.
4. Стратегия развития медицинской науки в РФ на период до 2025 года. 5. Агеев О.А., Мамиконова В.М., Петров В.В., Котов В.Н., Негоденко О.Н. Микроэлектронные преобразователи неэлектрических величин. – Таганрог: Изд-во ТРТУ, 2000. –153 с.
6. Агеев О.А., Беляев А.Е., Болтовец Н.С., Киселев В.С., Конакова Р.В., Лебедев А.А., Миленин В.В., Охрименко О.Б., Поляков В.В., Светличный А.М., Чередниченко Д.И. Карбид кремния: технология, свойства, применение. – Харьков: ИСМА, 2010. – 532 с.
7. Агеев О.А., Сеченов Д.А., Светличный А.М., Касимов Ф.Д., Кадымов Г.Г. Газочувствительные датчики на основе карбида кремния. – Баку: Изд-во “Мутарджим”, 2004. – 92 с.
8. Ageev A.O., Konoplev B.G., Polyakov V.V., Svetlichnyi A.M., Smirnov V.A. Photoassisted scanning-probe nanolithography on Ti films // Russian Microelectronics. – 2007. – Vol. 36, № 6. – P. 353-357.
9. Агеев О.А., Алексеев А.М., Внукова А.В., Громов А.Л., Коломийцев А.С., Коноплев Б.Г., Лисицын С.А. Исследование разрешающей способности наноразмерного профилирования методом фокусированных ионных пучков // Российские нанотехнологии. – 2014. – Т. 9, № 1-2. – С. 40-43.
10. Агеев О.А., Коломийцев А.С. Исследование параметров взаимодействия фокусированных ионных пучков с подложкой // Известия высших учебных заведений. Электроника. – 2011. – № 3 (89). – С. 20-25.
11. Ageev O.A., Alyabeva N.I., Konoplev B.G., Polyakov V.V., Smirnov V.A. Photoactivation of the processes of formation of nanostructures by local anodic oxidation of a titanium film // Semiconductors. – 2010. – Vol. 44, № 13. – P. 1703-1708.
12. Коноплев Б.Г., Агеев О.А. Элионные и зондовые нанотехнологии для микро- и наносистемной техники // Известия ЮФУ. Технические науки. – 2008. – № 12 (89). – С. 165-175.
13. Агеев О.А., Поляков В.В., Алябьева Н.И., Кужелев М.В. Зондовая нанолаборатория Ntegra VITA для биологических применений // Известия ЮФУ. Технические науки. – 2008. – № 5 (82). – С. 198-201.
14. Светличный А.М., Сеченов Д.А., Бурштейн В.М., Воронцов Л.В., Поляков В.В., Соловьев С.И., Агеев О.А. Вакуумная установка импульсной термической обработки ИТО-18МВ // Электронная промышленность. – 1991. – № 3. – С. 6.
15. Светличный А.М., Поляков В.В., Кочеров А.Н. Окисление карбида кремния быстрым термическим отжигом // Известия ТРТУ. – 2004. – № 1 (36). – С. 104-105.
16. Сеченов Д.А., Светличный А.М., Поляков В.В. Фотостимулированные технологические процессы в кремниевых структурах. – Таганрог: ТРТУ, 2002. – 103 с.
17. Светличный А.М., Сеченов Д.А., Бурштейн В.М., Бражник В.А., Поляков В.В. Установка импульсной термообработки ИТО-18м // Электронная промышленность. – 1990. – № 3. – С. 62-64.
18. Авилов В.И., Агеев О.А., Коломийцев А.С., Коноплев Б.Г., Смирнов В.А., Цуканова О.Г. Формирование и исследование матрицы мемристоров на основе оксида титана методами
зондовой нанотехнологии // Известия высших учебных заведений. Электроника. – 2014. – № 2 (106). – С. 50-57.
19. Агеев О.А., Блинов Ю.Ф., Ильин О.И. и др. Мемристорный эффект на пучках вертикально ориентированных углеродных нанотрубок при исследовании методом сканирующей туннельной микроскопии // Журнал технической физики. – 2013. – Т. 83, № 12. – С. 128-133.

Comments are closed.