Статья

Название статьи ИССЛЕДОВАНИЕ ВЛИЯНИЯ ТЕХНОЛОГИЧЕСКИХ ПАРАМЕТРОВ ФОРМИРОВАНИЯ ТОНКИХ ПЛЕНОК ЦИРКОНАТА-ТИТАНАТА СВИНЦА НА ИХ СТРУКТУРНЫЕ И ЭЛЕКТРОФИЗИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА
Автор Д.А. Коваленко, В.В. Петров, В.Г. Клиндухов
Рубрика РАЗДЕЛ II. НАНОМАТЕРИАЛЫ
Месяц, год 09, 2014
Индекс УДК 53.043
DOI
Аннотация Описана технология формирования тонких сегнетоэлектрических пленок цирконата титаната свинца (ЦТС) на окисленных кремниевых подложках методом высокочастотного реактивного распыления. Варьируемыми параметрами технологического процесса были: парциальное давление газа в камере, приложенная к электродам электрическая мощность и время формирования пленок. Методом рентгенофазового анализа определено количественное содержание кристаллической фазы в пленках ЦТС, а также влияние на это параметров технологического процесса. Наибольший вклад в количественное содержание кристаллов ЦТС в пленке вносит приложенная к электродам мощность. Методом растровой электронной микроскопии были проведены исследования механизма роста пленок ЦТС. Рост толщины сегнетоэлектрических пленок ЦТС составляет порядка 17 нм/мин и на поверхности окисленного кремния происходит по механизму Странски–Крастанова. Исследованы зависимости электрофизических свойств от технологических параметров формирования, а также зависимости значения угла диэлектрических потерь (∆φ) и величины поляризации от частоты поля.

Скачать в PDF

Ключевые слова Цирконат-титанат свинца; сегнетоэлектрики; высокочастотное реактивное распыление; механизм Странски–Крастанова; поляризация; угол диэлектрических потерь.
Библиографический список 1. Shi Yan, Jinzhi Fu, Wei Sun, Baohui Qi, Fuxue Liu. PZT-Based Detection of Compactness of Concrete in Concrete Filled Steel Tube Using Time Reversal Method // Mathematical Problems in Engineering. – 2014.
2. Ling-Sheng Jang and Kuo-Ching Kuo. Fabrication and Characterization of PZT Thick Films for Sensing and Actuation // Sensors. – 2007. – № 7.
3. Вендик О., Парнес М. Фазовращатели сканирующих антенн для радаров обзора территорий // Беспроводные технологии. – 2007. – № 3. – С. 26-28.
4. Лайнс М., Гласе А. Сегнетоэлектрики и родственные им материалы. – М.: Мир, 1998. – 736 с.
5. Фельдман Л., Майер Д. Основы анализа поверхности тонких пленок. – М.: Мир, 1989. – 344 с.
6. Леденцов Н.Н., Устинов В.М., Щукин В.А., Копьев П.С., Алферов Ж.И., Бимберг Д. Гетероструктуры с квантовыми точками: получение, свойства, лазеры // Физика и техника
полупроводников. – 1998. – № 4 (32). – С. 385.
7. Барфут Дж. Введение в физику сегнетоэлектрических явлений: Пер. с анг. Дж. Барфут – М.: Мир, 1970. – 352 с.
8. Смоленский Т.А., Боков В.А., Крайник Н.Н., Пасынков Р.Е., Шур М.С. Сегнетоэлектрики и антисегнетоэлектрики. – М.: Наука, 1979. – 476 с.
9. Пиралова А. Т., Алёшин В.А., Мухортое ЕМ., Дудкевич В.П., Фесенко Е.Г. Термодинамическая теория сегнетоэлектриков титаната бария // Кристаллография. – 1986. – № 6 (31). – С. 1175.
10. Мухортов В.М., Юзюк Ю.И. Гетероструктуры на основе наноразмерных сегнетоэлектрических пленок: получение, свойства и применение. – Ростов-на-Дону: Изд-во ЮНЦ РАН, 2008. – 224 с.
11. Коваленко Д.А., Петров В.В. Разработка сенсоров на основе сегнетоэлектрических пленок для гибридных сенсорных систем // Инженерный вестник Дона. – 2012. – № 4 (Ч. 2). (http://ivdon.ru/).
12. Коваленко Д.А., Петров В.В., Клиндухов В.Г. Разработка датчика динамических деформаций на основе сегнетоэлектрических пленок цирконата-титаната свинца // Известия ЮФУ. Технические науки. – 2014. – № 4 (153). – С. 184-190.

Comments are closed.