Статья

Название статьи ПРОФИЛИРОВАНИЕ ЗОНДОВ ДЛЯ СКАНИРУЮЩЕЙ ЗОНДОВОЙ НАНОДИАГНОСТИКИ МЕТОДОМ ФОКУСИРОВАННЫХ ИОННЫХ ПУЧКОВ
Автор А.В. Быков, А.С. Коломийцев, В.В. Полякова, В.А. Смирнов
Рубрика РАЗДЕЛ III. НАНОСИСТЕМНАЯ ТЕХНИКА
Месяц, год 09, 2014
Индекс УДК 621.38-022.532
DOI
Аннотация Представлены результаты экспериментальных исследований по профилированию зондов для атомно-силовой микроскопии (АСМ) и сканирующей туннельной микроскопии (СТМ) методом фокусированных ионных пучков (ФИП). С использованием локального ионно-лучевого травления методом ФИП получены кантилеверы с радиусом закругления острия около 10 нм и высоким аспектным отношением 1:50. Методом ФИП произведено профилирование вольфрамовых зондов СТМ, полученных методом электрохимического травления заготовок диаметром 0,1 мм. Показано, что применение локального травления ФИП позволяет уменьшить радиус закругления острия СТМ-зондов с 84,4 до 8,5 нм. Результаты исследования тестовых объектов профилированными зондами показывают возможность повышения разрешающей способности и достоверности измерений тестовых объектов методами АСМ и СТМ по сравнению со стандартными АСМ-кантилеверами и СТМ-зондами. Полученные результаты могут быть использованы при разработке методов и средств зондовой нанодиагностики структур микро- и наноэлектроники, наноструктурированных материалов, МЭМС и НЭМС.

Скачать в PDF

Ключевые слова Нанотехнологии; наноматериалы; сканирующая зондовая микроскопия; зонд; кантилевер; фокусированный ионный пучок; ионно-лучевое травление.
Библиографический список 1. Лучинин В.В. Нанотехнология: физика, процессы, диагностика. – М.: Физматлит, 2006. –552 с.
2. Мальцев П.П. Нано- и микросистемная техника. От исследований к разработкам. – М.: Техносфера, 2005. – 592 с.
3. Агеев О.А., Коноплев Б.Г., Смирнов В.А. и др. Фотоактивация процессов формирования наноструктур методом локального анодного окисления пленки титана // Известия высших учебных заведений. Электроника. – 2010. – № 2 (82). – С. 23-30.
4. Авилов В.И., Агеев О.А., Смирнов В.А. и др. Формирование и исследование матрицы мемристоров на основе оксида титана методами зондовой нанотехнологии // Известия вузов. Электроника. – 2014. – № 2 (106). – С. 50-57.
5. Ageev O.A., Konoplev B.G., Smirnov V.A. at al. Photoassisted scanning-probe nanolithography on Ti films // Russian Microelectronics. – 2007. – Vol. 36, № 6. – P. 353-357.
6. Коноплев Б.Г., Агеев О.А. Элионные и зондовые нанотехнологии для микро- и наносистемной техники // Известия ЮФУ. Технические науки. – 2008. – № 12 (89). – С. 165-175.
7. Bhushan B. Springer Handbook of Nanotechnology (3rd edition). – New York: Springer, 2010. – 1964 p.
8. Агеев О.А., Алексеев А.М., Внукова А.В., Громов А.Л., Коломийцев А.С., Коноплев Б.Г. Моделирование рельефа поверхности подложки при наноразмерном профилировании
методом фокусированных ионных пучков // Российские нанотехнологии. – 2014. – Т. 9, № 1-2. – С. 44-48.
9. Агеев О.А., Алексеев А.М., Внукова А.В., Громов А.Л., Коломийцев А.С., Коноплев Б.Г. Исследование разрешающей способности наноразмерного профилирования методом
фокусированных ионных пучков // Российские нанотехнологии. – 2014. – Т. 9, № 1-2. – С. 40-43.
10. Коноплев Б.Г., Агеев О.А., Смирнов В.А., Коломийцев А.С., Сербу Н.И. Модификация зондов для сканирующей зондовой микроскопии методом фокусированных ионных пучков // Микроэлектроника. – 2012. – Т. 41, № 1. – С. 47-56.
11. Агеев О.А., Коломийцев А.С., Коноплев Б.Г. Исследование параметров взаимодействия фокусированных ионных пучков с подложкой // Известия высших учебных заведений. Электроника. – 2011. – № 3 (89). – С. 20-25.
12. Официальный сайт ЗАО «Нанотехнология МДТ». http://www.ntmdt.ru.

Comments are closed.