Article

Article title PARTS AND COMPONENTS OF MICROELECTRONIC SENSORS
Authors K.A. Ozhikenov, P.G. Mikhailov, A.O. Kasimov, A.U. Analieva
Section SECTION III. EMBEDDED SYSTEMS USING MEMS SENSOR
Month, Year 03, 2015 @en
Index UDC 621.315.592:546.28
DOI
Abstract Without sensors and transducers it is impossible to create modern facilities and systems in various fields of science, engineering and technology. A special role is now played by a new generation of sensors - microelectronics, which are made using a variety of group technology of microelectronics: solid, micromachining, thin-and thick-film and so on. [1, 2]. The development of mass production of microelectronic sensors (MES) of physical quantities for cars allowed to increase their safety, efficiency and significantly improved consumer properties. Due to road sensors, microelectronic sensor technology began to evolve rapidly towards improving the accuracy, reliability, and reduce the size. The development of mobile phones, tablet computers and so on. increased demand for accelerometers, gyroscopes [3, 4]. At the same time, production technology has MES critical operations, which are often difficult to carry out "cross-cutting" group operations manufacture sensors. These transactions primarily include assembly operations and the setting operation of sensors [5, 6]. In addition, the practice adopted by the manufacturing technology MES at Russian enterprises, which includes the complete production of the entire sensor and its components and assemblies using its own technological base, not to reduce prices and increase competitiveness. A more progressive and less costly technology is assembling production with cooperation, in which the main components are sensitive sensor elements (SE), measurement modules (MM) and electronic transformers (ET) are produced on high-tech enterprises and are available as accessories. At the same time the assembly and adjustment of all the sensor can be made in virtually any business environment, equipped with a minimal set of test equipment, including small businesses. Therefore modular assembly technology MES is a progressive and popular destination.

Download PDF

Keywords Microelectronics; sensor; sensor; measuring module; component; assembly; cooperation; assembly.
References 1. Распопов В.Я. Микромеханические приборы: Учеб. пособие. – М.: Машиностроение, 2007. – 400 с.
2. Михайлов П.Г. Микромеханические устройства и приборы: Учебное пособие. – Пенза: Информационно-издательский центр ПГУ, 2007. – 174 с.
3. Amarasinghe R. Design and fabrication of miniaturized six-degree of freedom piezoresistive acceleromete MEMS 2005: 18th IEEE International Conference on microelectromechanical systems. – Р. 351-354.
4. Джексон Р.Г. Новейшие датчики. Справочник: Пер. с англ. – М.: Техносфера, 2007. – 380 с.
5. Михайлов П.Г. Микроэлектронные датчики, особенности конструкций и характеристик // Приборы и Системы. Управление, контроль, диагностика. – 2004. – № 6. – С. 38-42.
6. Михайлов П.Г., Лапшин В.И., Сергеев Д.А. Моделирование и конструирование кремниевых чувствительных элементов емкостных датчиков давлений // Известия ЮФУ. Технические науки. – 2013. – № 5 (142). – С. 128-133.
7. ГОСТ Р 51086-97 Датчики и преобразователи физических величин электронные. Термины и определения. Госстандарт России ИПК Издательство стандартов, 1997.
8. ГОСТ Р 8.673-2009 ГСИ. Датчики интеллектуальные и системы измерительные интеллектуальные. Основные термины и определения. Госстандарт России ИПК Издательство стандартов 2009 г.
9. Микроэлектроника и прецизионные датчики. Обзор фирмы Honеywell http://www.favorit.ru/files/catalog/Honeywell/ Honeywellmicroelectronicsoverview.pdf.
10. Проспекты и каталоги фирм: “PCB Piesotronics, JNG”, “Sunstrand Data Control”, “DYTRAN”, “Hans List”, “Kistler Instrumente, AG”, “Vibro-meter”, “Millard LTD”, “Motorolla JNC”, “AVL”, “Kulite”, “Erich Brosa”.
11. Михайлов П.Г., Соколов А.В., Сергеев Д.А. Вопросы применения чувствительных элементов и измерительных модулей в датчиках физических величин // Информационно-измерительная техника: Межвузовский сборник научных трудов. Вып. 37. – Пенза: ИИЦ ПГУ, 2012.
12. Михайлов П.Г., Варламов А.В. Микроэлектронные датчики. Разработка и проектирование // Датчики и Системы. – 2007. – № 8. – С. 23-26.
13. Михайлов П.Г., Мокров Е.А. Микроэлектронные датчики: особенности конструкций и характеристик // Электронные компоненты. – 2006. – № 5. – С. 12-15.
14. Каталоги фирм ОАО «НИИФИ», ЗАО «Орлекс», ОАО «Орбита», НПК «ТЦ», «Trafag», «Kulite», «Endevco», «Edress+Hauser».
15. Джексон Р.Г. Новейшие датчики. Справочник: Пер. с англ. – М.: Техносфера, 2007. –380 с.
16. Фрайден Дж. Современные датчики. Справочник: Пер. с англ. – М.: Техносфера, 2005. – 588 с.
17. Михайлов П.Г., Маринина Л.А., Смирнов И.Ю., Сергеев Д.А. Чувствительные элементы и измерительные модули датчиков. Конструкции и технологии Современные информационные технологии: Труды МНТК СИТ. Вып. 13. – Пенза: ПГТА, 2011. – С. 22-25.
18. Козин С.А., Баринов И.Н. Микроэлектронные датчики физических величин на основе МЭМС-технологий // Компоненты и технологии. – 2010. – № 1. – С. 24-25.
19. Chen Po-Jui, Rodger D.C., Humayun M.S. and Tai Yu-Chong. Unpowered spiral-tube parylene pressure sensor for intraocular pressure sensing Sensors and Actuators A: Physical. – March 2006. – 127, Issue 2. – P. 276-282
20. Stephen Beeby MEMS Mechanical Sensors / Stephen Beeby, Graham Ensell, Michael Kraft, Neil White // Boston, London, 2004: Artech House, Inc. – P. 128.
21. Мартынов Д.Б., Стучебников В.М. Температурная коррекция тензопреобразователей давления на основе КНС // Датчики и Системы. – 2002. – № 10. – C. 6-12.
22. Михайлов П.Г. Микроэлектронный датчик давления и температуры // Приборы и Системы. // Управление, контроль, диагностика. – 2003. – № 11. – С. 29-31.
23. Михайлов П.Г., Козин С.А. Интегральный полупроводниковый преобразователь давления // Патент РФ № 1527526 БИ № 45, 1989.
24. Ожикенов К.А., Михайлов П.Г., Касимов А.О., Скотников В.В. Использование обратных преобразователей в микроэлектронных датчиках // Вестник НАН РК. – 2014. – № 6. – С. 41-46.
25. Ожикенов К.А., Михайлов П.Г., Касимов А.О. Петрин В.А., Маринина Л.А. Общие вопросы моделирования компонентов и структур микроэлектронных датчиков // Вестник НАН РК. – 2014. – № 6. – С. 62-71.

Comments are closed.