Article

Article title RESEARCH OF MORPHOLOGY OF SURFACE OF FILMS NANO-SIZED MATERIAL SiO2SnOx, RECEIVED ZOL-GEL METHOD
Authors V.V. Petrov, N.K. Plugotarenko, A.A. Voronoy
Section SECTION 3. ELECTRONICS, RADIO ELECTRONICS AND NANOTECHNOLOGY
Month, Year 01, 2012 @en
Index UDC 539.217.5:546.28
DOI
Abstract Features formation zol-gel by method of thin films gas sensing structure SiO2SnOx material have been studied. It is established that for films obtained from the sols with the temperature of its formation 300С, with an increase in the ash ratio of TEOS/SnCl4 number of peaks decreases, and the pores are formed, the number of which is growing. It is shown that the surface of the filmsobtained from the sols formed, which were prepared, matured and kept at 100C showed the absence of pores on the surface irrespective of the temperature annealing. It is defined that for the films received on such technology, with increase in temperature of annealing at invariable ratio of ТЭОС/SnCl4, the height of peaks increases. All samples have a surface with in regular intervals distributed peaks.

Download PDF

Keywords Sol-gel method; gas-sensitive material; morphology of the film surface.
References 1. Петров В.В., Королев А.Н. Наноразмерные оксидные материалы для сенсоров газов. – Таганрог: Изд-во ТТИ ЮФУ, 2008. – 153 с.
2. Шилова О.А. Силикатные наноразмерные пленки, получаемые золь-гель методом, для планарной технологии изготовления полупроводниковых газовых сенсоров // Физика и
химия стекла. – 2005. – Т. 31, № 2. – С. 270-293.
3. Плуготаренко Н.К., Королев А.Н., Петров В.В., Назарова Т.Н. Влияние состава золей, получаемых из водно-спиртовых растворов тетраэтоксисилана и SnCl4, на морфологию
поверхности формируемых из них пленок // Неорганические материалы. – 2007. – № 7. – С. 1-5.
4. Петров В.В., Назарова Т.Н., Копылова Н.Ф., Заблуда О.В., Кисилев И., Брунс М. Исследование физико-химических и электрофизических свойств, газочувствительных характеристик нанокомпозитных пленок состава SiO2-SnOx-CuOy // Нано- и микросистемная техника. – 2010. – № 8. – С. 15-21.
5. Горшков В.С., Савельев В.Г., Ведоров Н.Ф. Физическая химия силикатов и других тугоплавких соединений. – М.: Высш. шк., 1988. – 400 с.

Comments are closed.