Статья

Название статьи МОДЕЛИРОВАНИЕ ПРОЦЕССА ЛАЗЕРНОГО ОТЖИГА СТРУКТУРЫ «КРЕМНИЙ-СТЕКЛОВИДНЫЙ ДИЭЛЕКТРИК»
Автор С.П. Малюков, И.В. Куликова, Г.В. Калашников
Рубрика РАЗДЕЛ V. МОДЕЛИРОВАНИЕ СЛОЖНЫХ СИСТЕМ
Месяц, год 07, 2011
Индекс УДК 519.633; 621.383
DOI
Аннотация На основе численных методов разработана нестационарная двумерная модель воздействия лазерного излучения, для получения качественных эпитаксиальных слоев кремния на подложке из боросиликатного стекла. Модель позволяет учитывать неравномерность оптических и физических параметров полупроводниковых структур и параметры лазерного излучения. Программное обеспечение на основе разработанной модели позволило подобрать оптимальный режим обработки выбранной структуры, а также позволяет определить оптимальные значения лазерного излучения и оптимизировать процесс «лазерного отжига» кремния на подложке из боросиликатного стекла.

Скачать в PDF

Ключевые слова Моделирование; лазерное излучение; тонкопленочный солнечный элемент; стекловидный диэлектрик; лазерный отжиг.
Библиографический список 1. Берегов М.Е., Киселев Н.А. Корректировка топологии фотошаблона методом локального лазерно-химического осаждения // Электронная промышленность. – 1987. – Вып. 4. – С. 26-27.
2. Пилипенко В.А., Попов Ю.П. Использование фотонных технологических процессов при изготовлении биполярных ИС // Электронная промышленность. – 1988. – Вып. 5. – С. 3-9.
3. Andrа G., Plentz J. Advances in Multicrystalline LLC-Si Thin Film Solar Cells // Proc. 22nd Europ. PVSEC, Milan. – 2007. – Р. 1967-1970.
4. Малюков С.П. Стекловидные диэлектрики в производстве магнитных головок // Таганрог, 1998. – С. 45-86.
5. Kulikova I. Laser technologies in the nanoelectronics. German-Russian interdisciplinary workshop for students and young scientists “Nanodesing: Physics, Chemistry and Computer modeling” 16-17 December. – Rostov-on Don, 2010. – 35 c.
6. Venkadeshwaran K., Das S., Misra D. Finite element simulation of 3-D laser forming by discrete section circle line heating. International Journal of Engineering, Science and Technology. – 2010. – Vol. 2, № 4. – З. 163-175. URL: http:\\www.ijest-ng.com.
7. Самарский А. А., Вабищевич П. Н. Вычислительная теплопередача. – Изд-во: Едиториал УРСС, 2003. – 784 с.

Comments are closed.