Статья

Название статьи РАСЧЕТ РАСПРЕДЕЛЕНИЯ ТЕМПЕРАТУР В ПРОЦЕССЕ РОСТА МОНОКРИСТАЛЛОВ САПФИРА МЕТОДОМ ГОРИЗОНТАЛЬНОЙ НАПРАВЛЕННОЙ КРИСТАЛЛИЗАЦИИ
Автор С.П. Малюков, Ю.В. Клунникова, И.В. Куликова
Рубрика РАЗДЕЛ III. МИКРОЭЛЕКТРОНИКА, ОБРАБОТКА СИГНАЛОВ
Месяц, год 01, 2013
Индекс УДК 681.518: 666.1/28
DOI
Аннотация Проведен расчет распределения температур в ростовой установке для получения монокристаллов сапфира методом горизонтальной направленной кристаллизации. Расчет был проведен с учетом кондуктивной теплопередачи, излучения между нагревателями и лодочкой и конвективного охлаждения. Он позволяет оценить влияние теплофизических конструкционных параметров ростовой установки на процесс кристаллизации монокристаллов сапфира и позволяет приблизиться к решению основной задачи – получению кристаллов с пониженным уровнем дефектов.

Скачать в PDF

Ключевые слова Технологический процесс; метод горизонтальной направленной кристаллизации; монокристаллы сапфира; распределение температур.
Библиографический список 1. Першин И.М. Анализ и синтез систем с распределенными параметрами. – Пятигорск, 2007. – 244 с.
2. Багдасаров Х.С., Горяинов Л.А. Тепло- и массоперенос при выращивании монокристаллов направленной кристаллизацией. – М.: Физматлит, 2007. – 224 с.
3. Дешко В.И., Карвацкий А.Я., Лохманец Ю.В. Радиационный-кондуктивный теплообмен при росте полупрозрачных кристаллов из расплава // Математическое моделирование.
– 2008. – № 2 (19). – С. 39-43.
4. Zdanov V., Rossolenko S.N., Borodin V.A. Mathematical modeling of the multi-run process of crystal pulling from the melt by EGP (Stepanov) technique in dependence on the angle of the inclination of the working edges of the dies // Cryst. Res. Technol. – 2007. – Vol. 42, № 4. – P. 325.
5. Brandon S., Derby J.J. Internal radiative transport in the vertical Bridgman growth of semitransparent crystals // Journal of Crystal Growth. – 1991. – Vol. 110, № 3. – P. 481-500.
6. Багдасаров Х.С., Горяинов Л.А. Тепло- и массоперенос при выращивании монокристаллов направленной кристаллизацией. – М.: Физматлит, 2007. – 224 с.
7. Малюков С.П., Нелина С.Н., Стефанович В.А. Физико-технологические аспекты изготовления изделий из сапфира. – LAP LAMBERT Academic Publishing GmbH & Co. KG (Германия. – 2012. – 164 с.
8. Малюков С.П., Клунникова Ю.В. Оптимизация производства изделий из сапфира для электронной техники. – LAP LAMBERT Academic Publishing GmbH & Co. KG (Германия). – 2012. – 151 с.
9. Малюков С.П., Стефанович В.А., Чередниченко Д.И. Исследование модели самосогласованного роста монокристаллов сапфира по методу горизонтальной направленной кристаллизации // Известия вузов. Электроника. – 2007. – № 2. – С. 3-9.
10. Лебедев Г.А., Малюков С.П., Стефанович В.А., Чередниченко Д.И. Теплофизические процессы при получении кристаллов лейкосапфира методом горизонтальной направленной кристаллизации // Кристаллография. – 2008. – Т. 53, № 2. – С. 356-360.
11. Малюков С.П., Стефанович В.А., Чередниченко Д.И. Релаксация пузырей в расплаве лейкосапфира при получении кристаллов методом горизонтальной направленной кристаллизации // Кристаллография. – 2007. – Т. 52, № 6. – С. 1137-1140.
12. Лыков А.В. Теория теплопроводности. – М.: Высшая школа, 1967. – 600 с.
13. Малюков С.П., Клунникова Ю.В. Моделирование распределения температуры в процессе роста монокристаллов сапфира методом горизонтальной направленной кристаллизации в трехмерных координатах // Известия ЮФУ. Технические науки. – 2011. – № 4 (117). – С. 86-94.

Comments are closed.